rf离子源工作原理 fib 离子源:RF离子源工作原理解析
RF离子源是一种常见的离子源,它被广泛应用于各种科学领域,如化学分析、生物医学研究、材料科学等。FIB离子源是一种基于RF离子源的高能离子束发生器,它可以产生高能离子束,用于纳米加工、成像和分析。本文将对RF离子源的工作原理进行解析,并探讨FIB离子源的应用。 一、RF离子源工作原理 RF离子源是一种基于射频场的离子源,其工作原理可以分为三个步骤:离子发射、离子加速和离子束聚焦。 1.离子发射 RF离子源中的离子发射器通常采用钨丝或钨网作为阴极,通过射频场加热钨丝或钨网,使其发射出电子。这些电